在半导体晶圆厂的洁净室里
一辆辆承载着
价值千万晶圆的磁驱“天车”
在空中轨道上轻盈穿梭
成为芯片诞生过程中
最独特的风景线
在即将召开的全球规模最大的半导体专业展览会SEMICON China上,位于南京江宁开发区的专精特新“小巨人”企业——江苏道达智能科技有限公司将放出“大招”:携最新研发的第二代半导体磁驱天车“腾龙”亮相。公司董事长孙俊杰透露,首台套磁驱天车“腾龙”预计于今年6月份交付使用。
一片晶圆要在几百台生产设备间流转
经过成百上千道工序
才会诞生数百颗指甲盖大小的芯片
传输过程中
任何污染物或颠簸都可能导致晶圆损坏
从而影响芯片的产出率和质量
自动物料搬运系统就成为半导体制造工厂中不可或缺的高科技物流系统,它通过快速精准搬运物料载体,突破了传统人力搬运在机台间的效率瓶颈,而“天车”就是这套系统中的核心设备。
过去很长一段时间里,半导体的天车市场,大多采用国外的系统和技术。“只有把核心技术掌握在我们自己手上,才能真正为产业、为客户更好地解决问题。”孙俊杰对公司的长远发展有着清晰的认识。
从2017年开始,道达就瞄准天车控制系统,从软件入手,再到具体轨道的车轮磨损、滑轨材料、供电方式,进行全部自研。几年来,道达积累了大量的发明专利,成功开发出国产首套5.3米/秒高速天车系统,打破了国外长达20多年的垄断,成为目前国内唯一通过自研实现量产的天车系统厂商。
如今,公司在第一代旋转伺服天车“麒麟”的基础上,持续攻克技术难题,成功研制出磁驱天车“腾龙”,该产品实现了关键零部件100%国产化。与第一代产品相比,“腾龙”采用了自主研发的磁悬浮无接触驱动技术,运输过程中实现零磨损、零粉尘,从根本上解决洁净度问题,同时实现微米级的精准定位。
不仅如此,第二代产品还装上了“最强大脑”——配备了自主研发的三层智能调度系统,通过AI算法进行预测行为和故障自愈,实现一个后台管理千台设备。
“经过测试,‘腾龙’的直行速度已经从一代产品的5.3米/秒提高到6米/秒,定位精度提升到plusmn;0.5毫米,振动降至0.25g,这意味着新一代天车更快、更稳、更精准。” 孙俊杰表示。
“当初选择将公司搬迁至南京江宁,很大程度上是看中了这里丰富的高校资源。”孙俊杰说,企业高速发展的这几年,道达与东南大学、南京航空航天大学、河海大学等高校保持着紧密的合作。其中,2020年公司与东南大学共建了南京东道电子装备研究院,就此展开了一系列“天车”核心技术的研究。2025年,道达还荣获了国家专精特新“小巨人”企业的称号。
在道达公司大厅的墙壁上,清晰地展示着公司的发展历程和未来规划,“2026年,AMHS产品‘飞天’系列发布、开始半导体领域海外布局……”从打破垄断到走向世界,南京这辆“车”的下一站,是更广阔的全球赛道,创新的故事永远未完待续。
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